图书介绍
AlB2-type WB2基硬质薄膜的制备与性能研究PDF|Epub|txt|kindle电子书版本下载
- 刘艳明著 著
- 出版社： 北京：中国石化出版社
- ISBN：9787511449795
- 出版时间：2018
- 标注页数：120页
- 文件大小：16MB
- 文件页数：129页
- 主题词：硬质膜－研究
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AlB2-type WB2基硬质薄膜的制备与性能研究PDF格式电子书版下载
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图书目录
第1章 绪论1
1.1 硬质薄膜及其发展历程2
1.1.1 普通硬质薄膜2
1.1.2 内禀性超硬薄膜3
1.1.3 外禀性硬质薄膜5
1.2 硬质薄膜的研究热点及问题10
1.2.1 硬质薄膜制备10
1.2.2 硬质薄膜组元微结构设计与其强化机制11
1.2.3 高性能硬质薄膜13
1.2.4 高性能靶材16
1.3 硬质薄膜的制备技术16
1.3.1 化学气相沉积16
1.3.2 物理气相沉积17
1.4 硬质薄膜的表征方法20
1.4.1 薄膜的显微结构20
1.4.2 薄膜的硬度20
1.4.3 薄膜的摩擦磨损性能21
1.4.4 薄膜的结合强度22
1.4.5 薄膜的残余应力22
1.5 WB2、W-B-N（C）硬质薄膜23
1.5.1 WB2相的研究现状24
1.5.2 W-B-N（C）硬质薄膜的研究现状25
1.5.3 AlB2-type WB2、W-B-N（C）硬质薄膜的研究内容26
第2章 AlB2-type WB2超硬薄膜的制备及表征29
2.1 实验材料与方法30
2.1.1 靶材与基体30
2.1.2 磁控溅射设备30
2.1.3 薄膜制备31
2.1.4 薄膜的表征方法31
2.2 实验结果与讨论33
2.2.1 薄膜形貌33
2.2.2 薄膜成分及化学键状态35
2.2.3 薄膜相结构36
2.2.4 薄膜显微结构38
2.2.5 薄膜硬度和弹性模量39
2.2.6 薄膜结合强度41
2.2.7 薄膜摩擦磨损性能42
2.3 小结43
第3章 AlB2-type WB2薄膜的工艺参数优化44
3.1 实验材料与方法45
3.1.1 靶材与基体45
3.1.2 AlB2-type WB2薄膜的制备45
3.1.3 AlB2-type WB2薄膜的表征方法46
3.2 实验结果与讨论48
3.2.1 基片偏压对AlB2-type WB2薄膜结构及性能的影响48
3.2.2 基片温度对AlB2-type WB2薄膜结构及性能的影响55
3.2.3 工作压强对AlB2-type WB2薄膜结构及性能的影响59
3.2.4 靶功率对AlB2-type WB2薄膜结构及性能的影响64
3.3 小结68
第4章 W-B-N复合薄膜的制备及表征70
4.1 实验材料与方法71
4.1.1 W-B-N薄膜的制备71
4.1.2 W-B-N薄膜的表征方法71
4.2 实验结果与讨论72
4.2.1 W-B-N薄膜成分及结构72
4.2.2 W-B-N薄膜残余应力77
4.2.3 W-B-N薄膜力学及摩擦磨损性能78
4.2.4 W-B-N薄膜抗腐蚀性能82
4.2.5 W-B-N薄膜热稳定性82
4.3 小结87
第5章 W-B-C复合薄膜的制备及表征88
5.1 实验材料与方法89
5.1.1 W-B-C薄膜的制备89
5.1.2 W-B-C薄膜的表征方法89
5.2 实验结果与讨论90
5.2.1 W-B-C薄膜成分及结构90
5.2.2 W-B-C薄膜残余应力97
5.2.3 W-B-C薄膜力学及摩擦磨损性能98
5.2.4 W-B-C薄膜热稳定性103
5.3 小结104
参考文献105