图书介绍
薄膜技术及应用PDF|Epub|txt|kindle电子书版本下载
- 孙承松主编 著
- 出版社： 沈阳：东北大学出版社
- ISBN：7810543393
- 出版时间：1998
- 标注页数：218页
- 文件大小：26MB
- 文件页数：223页
- 主题词：
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薄膜技术及应用PDF格式电子书版下载
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图书目录
第一章 薄膜技术基础1
1 薄膜及其特征1
2 薄膜的形成2
3 薄膜的力学性质9
4 薄膜的电导18
5 金属薄膜中的电迁移25
6 介质薄膜27
第二章 真空蒸发镀膜31
1 真空的获得与测量31
2 真空蒸发镀膜原理36
3 蒸发源42
4 蒸发源的发射特性和膜厚分布51
5 一般蒸镀技术56
6 特殊蒸镀技术57
7 真空蒸发镀膜机64
第三章 真空溅射镀膜68
1 溅射镀膜的特点68
2 溅射理论68
3 溅射产额及选择溅射71
4 溅射原子能量和角度的统计分布79
5 反应溅射80
6 薄膜形成过程中的几个问题82
7 溅射镀膜方式84
第四章 其他物理气相淀积方法94
1 真空离子镀膜技术94
2 离子束淀积技术106
3 分子束外延生长109
第五章 化学气相淀积技术116
1 化学气相淀积技术原理、反应方式和特点116
2 化学气相淀积所使用材料120
3 化学气相淀积装置122
4 常压化学气相淀积（APCVD）125
5 低压化学气相淀积（LPCVD）136
6 等离子增强化学气相淀积（PECVD）142
7 有机金属化学气相淀积（MOCVD）146
8 光化学气相淀积（光CVD）148
第六章 薄膜图形形成技术151
1 光刻掩模版的制做151
2 光刻法152
3 干法刻蚀154
4 掩蔽法160
5 剥离法（反向刻蚀法）162
第七章 薄膜技术应用164
1 薄膜技术在温度敏感元件中的应用164
2 薄膜技术在磁敏元件中的应用169
3 薄膜技术在湿敏元件中的应用173
4 薄膜技术在气敏元件中的应用174
5 薄膜技术在力敏元件中的应用176
6 薄膜技术在半导体器件中的应用177
7 薄膜技术在电子元件中的应用179
8 薄膜技术在机械工业中的应用182
9 塑料基片上薄膜技术的应用186
10 薄膜技术在光电器件中的应用188
11 信息、计算机工业中的薄膜技术190
第八章 薄膜检测193
1 薄膜厚度的检测193
2 薄膜的形貌和结构检测201
附录：基片212