图书介绍
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- 高世桥，刘海鹏著 著
- 出版社： 北京：国防工业出版社
- ISBN：7118055662
- 出版时间：2008
- 标注页数：249页
- 文件大小：12MB
- 文件页数：261页
- 主题词：微电机－系统动力学
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图书目录
符号说明1
绪论3
第1章 微机电系统的发展与力学6
1.1 微机电系统的起源7
1.2 微机电系统的定义与内涵8
1.3 微机电系统的特点9
1.4 微机电系统的发展13
1.5 微机电系统的材料和微加工技术17
1.6 商品化的趋势22
1.7 微机电系统对力学的需求29
第2章 物理基本力33
2.1 物质的构成34
2.2 物理基本力36
2.3 基本力的作用行程41
2.4 微机电系统中的力42
第3章 静电力46
3.1 库仑定律47
3.2 电场、电场强度49
3.3 电势51
3.4 电偶极子53
3.4.1 电偶极子的电场53
3.4.2 电偶极子电场的电势54
3.5 电多极子与电势的多极展开56
3.5.1 单极子项57
3.5.2 偶极子项57
3.5.3 四极子项58
第4章 电—磁力60
4.1 洛仑兹力60
4.1.1 带电粒子在均匀磁场中的运动61
4.1.2 带电粒子在非均匀磁场中的运动63
4.2 安培力65
4.2.1 安培力的定义65
4.2.2 安培力的微观解释66
4.2.3 载流导线在磁场中所受到的磁力66
4.2.4 载流线圈在磁场中所受到的磁力矩67
4.2.5 平行载流导线间的相互作用力70
第5章 范德瓦尔斯力73
5.1 偶极子产生的电场74
5.2 离子与偶极子间的相互作用能及作用力75
5.3 偶极—偶极相互作用76
5.4 角平均的偶极相互作用78
5.5 偶极—诱导偶极相互作用79
5.6 伦敦（London）—范德瓦尔斯（色散）力81
5.7 分子间总的范德瓦尔斯相互作用85
5.8 物体间的范德瓦尔斯力87
第6章 卡西米尔力89
6.1 卡西米尔力提出的背景89
6.1.1 “零点能量”及卡西米尔力的探索89
6.1.2 卡西米尔效应的进一步研究92
6.2 卡西米尔力93
6.2.1 卡西米尔力93
6.2.2 卡西米尔效应94
6.2.3 卡西米尔力的量子力学阐释94
6.3 金属板间的卡西米尔力及做功96
6.3.1 两平行导电金属板之间的卡西米尔力96
6.3.2 两平行移动的平行平面的卡西米尔力98
6.3.3 平板间距离变化时卡西米尔力作功99
6.4 卡西米尔力对微加速度计性能的影响99
第7章 微结构静电场及电场力104
7.1 无限大平板模型106
7.2 考虑边缘效应模型107
7.2.1 基于分离变量法得到的级数解107
7.2.2 基于保角变换计算式108
7.2.3 考虑极板厚度时的边缘效应108
7.2.4 边缘效应模型对比与分析110
7.3 非平行平板电容器的电容计算112
7.4 梳状结构电容的拐角效应115
第8章 毛细力125
8.1 毛细现象125
8.2 毛细原理125
8.3 毛细模型127
8.3.1 表面张力127
8.3.2 接触角与润湿现象129
8.3.3 拉普拉斯方程133
8.4 毛细力在平行板间的作用137
8.4.1 液桥毛细力理论137
8.4.2 两板间的粘附力模型139
第9章 布朗力与噪声142
9.1 布朗运动现象与噪声142
9.2 噪声的一般性质144
9.2.1 噪声的定义、特性及分类144
9.2.2 研究噪声的意义145
9.3 机械噪声（布朗力）146
9.3.1 布朗力147
9.3.2 单自由度弹簧质量系统布朗力149
9.3.3 硅微陀螺机械热噪声150
9.3.4 电容加速度计热噪声152
9.4 电流热噪声154
9.4.1 电流热噪声模型154
9.4.2 电阻热噪声156
9.4.3 阻容并联电路的热噪声158
9.4.4 机械—电子噪声相似性160
9.5 其他类型的电子噪声161
9.5.1 PN结的散粒噪声161
9.5.2 g-r噪声163
9.5.3 1/f噪声164
第10章 阻尼力165
10.1 气体微流动基本概念及流区分类165
10.2 流体动力学基本方程及边界条件168
10.2.1 流体动力学基本方程168
10.2.2 边界条件170
10.3 压膜阻尼174
10.3.1 雷诺方程174
10.3.2 气体压膜阻尼的求解178
10.3.3 几种常见结构的阻尼力解180
10.3.4 气体压膜阻尼的挤压效应182
10.3.5 其他因素对压膜阻尼力的影响184
10.4 滑膜阻尼189
10.4.1 滑膜阻尼基本方程190
10.4.2 圆柱质量块结构的气体阻尼192
10.4.3 无限大、薄多孔板间气体压膜阻尼分析195
第11章 作用力的尺度效应和行程效应198
11.1 作用力的尺度效应199
11.2 作用力的行程效应200
第12章 结构力学的微尺度效应206
12.1 圆柱颗粒的分析207
12.2 偶应力理论210
12.3 一种特殊的应变梯度变形理论212
12.4 微梁弯曲217
第13章 微机械谐振陀螺的动力学特性222
13.1 陀螺哥氏效应222
13.2 动力学方程的建立225
13.3 微机械梳齿式陀螺的静电驱动力230
13.4 动力学方程求解及讨论231
13.4.1 常值角速度下检测系统位移解233
13.4.2 谐变角速度下检测系统的位移解236
13.4.3 一般变角速度下检测系统的位移解237
参考文献239