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目录1

第一章 绪论1

§1.1真空电子器件生产的特点1

1.1.1所用材料的广泛性1

1.1.2生产技术的复杂性2

1.1.3真空卫生的严格要求3

1.1.4工艺纪律的严肃性3

§1.2真空电子器件生产的技术准备4

§1.3真空电子器件的生产过程5

第二章 金属零部件的制造7

§2.1金属零件加工的主要方法7

2.1.1冲压7

2.1.2绕制14

2.1.3电火花加工14

2.1.4光刻15

2.1.5电铸17

2.1.6挤压18

§2.2阳极的制造20

2.2.1一般阳极的制造工艺20

2.2.2磁控管阳极的制造工艺24

2.2.3真空浇铸阳极的制造工艺26

§2.3慢波部件的制造26

2.3.1慢波部件的制造工艺28

2.3.2螺旋线慢波部件的夹持方法29

§2.4栅极制造31

2.4.1绕制型栅极的制造工艺31

2.4.2框架栅的制造工艺34

2.4.3电火花加工栅网的制造工艺34

2.4.4光刻栅网的制造工艺35

2.4.5热解石墨栅极的制造工艺37

§2.5荫罩的制造38

§3.1净化的作用和方法41

第三章 零件的净化41

§3.2机械净化法42

§3.3化学及电化学去油45

3.3.1有机溶剂去油45

3.3.2肥皂和合成洗涤剂去油47

3.3.3碱液去油47

3.3.4电化学去油49

§3.4化学及电化学浸蚀50

3.4.1化学浸蚀50

3.4.2电化学浸蚀53

§3.5化学及电化学抛光54

§3.6超声波清洗55

§3.7清洗质量的检验57

§3.8零件清洗举例58

4.1.1热处理的目的62

§4.1热处理的目的及工艺62

第四章 零件的热处理62

4.1.2热处理工艺63

§4.2在氢气中的热处理65

§4.3在真空中的热处理69

§4.4在空气中的热处理72

第五章 零件的涂覆74

§5.1机械涂覆法74

5.1.1喷涂法74

5.1.2浸渍法74

5.1.3沉淀法76

5.1.4热涂法76

5.1.5其他机械涂覆方法77

§5.2物理涂覆法78

5.2.1真空蒸涂法78

5.2.2阴极溅射法79

5.2.3离子镀81

5.2.4静电喷涂82

5.2.5熔融喷涂法84

§5.3化学涂覆法84

5.3.1钝化与发蓝84

5.3.2碳化法86

5.3.3氮化88

5.3.4磷化89

5.3.5气相沉积91

5.3.6化学镀96

§5.4电化学涂覆98

5.4.1电镀98

5.4.2电泳102

5.4.3铝的阳极氧化103

§5.5荧光屏的涂覆104

5.5.1涂屏的一般要求和方法104

5.5.2显象管的涂屏106

5.5.3影响涂屏质量的主要因素109

5.5.4有机膜的涂覆110

第六章 零件的连接113

§6.1电阻焊接113

6.1.1点焊113

6.1.2滚焊118

6.1.3对焊119

§6.2钎焊119

6.2.1基本原理119

6.2.2钎焊的优缺点121

6.2.3钎焊常用的焊料122

6.2.4钎焊工艺124

6.2.5钎焊结构126

6.2.6钎焊的方法和设备128

6.2.7钎焊接头的质量检验及典型缺陷130

6.3.1氩弧焊131

§6.3熔融焊接131

6.3.2氢原子焊134

6.3.3等离子焊135

6.3.4真空电子束焊137

6.3.5激光焊138

§6.4其他连接方法141

第七章 玻璃与玻璃、玻璃与金属的封接143

§7.1玻璃与玻璃的封接143

7.1.1焊料封接143

7.1.2采用中间玻璃的过渡封接145

§7.2玻璃与金属封接147

7.2.1玻璃与金属封接机理147

7.2.2玻璃与金属封接的一般工艺149

7.2.3玻璃与金属封接的结构及其工艺153

7.2.4玻璃与金属封接的检验159

§8.1概述161

第八章 陶瓷与金属的封接161

§8.2陶瓷与金属的封接结构162

§8.3活化钼－锰法165

8.3.1活化钼－锰法简介165

8.3.2活化钼－锰法的优缺点166

8.3.3活化钼－锰法封接的工艺过程166

§8.4钛－银－铜法171

8.4.1钛－银－铜法简介171

8.4.2钛－银－铜法的优缺点172

8.4.3钛－银－铜法封接工艺173

8.4.4主要工艺因素对封接质量的影响174

§8.5其他封接方法177

8.5.1真空蒸涂和离子溅射金属化法177

8.5.2压力扩散封接法178

§8.6封接的性能检验及内容179

§9.1钨阴极的制造183

第九章 阴极的制造183

§9.2钍钨阴极的制造185

§9.3氧化物阴极的制造188

9.3.1概述188

9.3.2氧化物阴极的特点及结构190

9.3.3基金属所用材料和加工工艺192

9.3.4涂料的制备193

9.3.5氧化物阴极的涂覆工艺194

9.3.6氧化物阴极涂层的检验199

9.3.7海绵阴极的制造200

§9.4浸渍钡钨阴极的制造201

9.4.1概述201

9.4.2浸渍钡钨阴极的制造工艺201

9.4.3钨酸钡锶阴极的制造工艺206

§9.5光电阴极的制造207

9.5.1光电阴极制造工艺的一般问题208

9.5.2锑－钯阴极的制造工艺210

9.5.3银－氧－钯阴极的制造工艺211

9.5.4多碱阴极的制造工艺213

§9.6次级发射体的制造216

9.6.1银－镁合金次级发射体的制造工艺217

9.6.2铜－铍合金次级发射体的制造工艺218

§9.7其他阴极的制造218

9.7.1硼化物阴极的制造工艺218

9.7.2氧化钍阴极的制造工艺220

第十章 热子的制造222

§10.1概述222

§10.2热丝的成形224

10.2.1折叠形热丝的成形224

10.2.2螺旋形热丝的成形224

§10.3热子的涂覆与烧结228

10.3.1热子的涂覆228

10.3.2热子的烧结231

§10.4热子的装配232

§10.5黑化热子233

§10.6阴极热子组合件的制造234

第十一章 吸气剂的制造236

§11.1概述236

11.1.1吸气剂吸气原理236

11.1.2吸气剂的分类237

11.1.3对吸气剂的一般要求238

§11.2蒸散型吸气剂的制造工艺239

11.2.1钡吸气剂的制造工艺239

11.2.2钡钛吸气剂的制造工艺240

11.2.3掺氮吸气剂的制造工艺243

§11.3非蒸散型吸气剂的制造工艺244

11.3.1钛和锆的应用244

11.3.3锆铝16吸气剂的制造工艺245

11.3.2铈钍吸气剂的制造工艺245

§11.4释汞吸气剂的制造工艺247

§11.5吸气剂主要参数的测定248

11.5.1蒸散特性的测定248

11.5.2含气量的测定249

11.5.3吸气特性的测定249

§11.6吸气剂的安装和保存250

§12.1装架的意义和技术要求252

第十二章 装架252

§12.2静电控制管的装架254

12.2.1流水作业的生产形式254

12.2.2装架工艺及设备255

12.2.3装架的技术要求255

§12.5光敏管的装架255

§12.3微波管的装架256

12.3.1装架的特点256

12.3.2装架的工艺过程257

12.3.3装架的技术要求258

§12.4电子束管的装架260

12.4.1装架的特点260

12.3.4装架所用设备及工具260

12.4.2装架的工艺过程261

12.4.3装架的设备263

12.4.4检验264

12.5.1装架的特点265

12.5.2光电倍增管的装架工艺过程266

第十三章 封口和排气268

§13.1封口工艺概述268

§13.2典型封口加工方法和步骤269

§13.3封口的工艺装备271

§13.4封口的检验及废品分析272

§13.5排气工艺概述273

13.6.1真空系统的检查与接管274

§13.6排气的一般工艺过程274

13.6.2去气275

13.6.3阴极处理276

13.6.4其他工艺处理和电参数测量280

13.6.5封离280

13.6.6吸气剂处理282

§13.7排气设备283

§13.8排气的检验及废品分析285

第十四章 老炼287

§14.1老炼的目的287

§14.2老炼的一般工艺过程288

14.2.1阴极激活288

14.2.2电极除气290

14.2.3降低阴极与灯丝间的漏电290

14.2.4高压老炼291

§14.3老炼规范举例293

§14.4老炼所用的设备296

第十五章 测试298

§15.1概述298

§15.2测试的分类299

§15.3主要测试内容及方法301

§15.4测试设备306

15.4.1测试装置的几种类型306

15.4.2测试设备的检查及使用309

§15.5测试误差及分析311

§15.6测试中的安全事项313

第十六章 例行试验和寿命试验314

§16.1例行试验314

16.1.1例行试验及其目的314

16.1.2例行试验项目315

16.1.3气候试验316

16.1.4机械强度试验317

16.1.5例行试验的要求318

§16.2寿命试验319

16.2.1寿命试验的目的319

16.2.2寿命试验的内容320

16.2.3加速寿命试验的目的321

第十七章 检验323

§17.1检验的意义和作用323

§17.2检验的分类324

17.2.1根据检查数量分类324

17.2.2其他分类方法325

§17.3检验标准的制订327

17.3.1检验标准种类327

17.3.2检验标准的制订328

§17.4检验项目和方法329

17.4.1原材料检验329

17.4.2过程检验330

17.4.3成品检验331