图书介绍
微纳检测技术PDF|Epub|txt|kindle电子书版本下载
- 胡小唐等编著 著
- 出版社： 天津：天津大学出版社
- ISBN：9787561828632
- 出版时间：2009
- 标注页数：222页
- 文件大小：47MB
- 文件页数：229页
- 主题词：纳米材料－应用－精密测量
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图书目录
第1章 微纳检测技术基础1
1.1 微纳米量级检测技术特点1
1.2 常用检测技术3
1.3 微纳尺度的溯源与基准传递5
第2章 光学干涉测试技术8
2.1 位移干涉检测技术8
2.2 相移干涉检测技术15
2.3 X射线干涉技术36
2.4 白光干涉检测技术39
第3章 微纳形貌检测技术48
3.1 接触式轮廓仪48
3.2 非接触式轮廓仪——光学式轮廓仪55
第4章 扫描探针显微镜62
4.1 扫描隧道显微镜62
4.2 原子力显微镜95
4.3 扫描近场光学显微镜118
第5章 扫描电子显微镜129
5.1 扫描电子显微镜129
5.2 透射电子显微镜142
5.3 环境扫描电子显微镜146
第6章 微纳坐标测量技术149
6.1 微纳坐标测量技术基础149
6.2 微纳坐标测量仪器156
6.3 微纳坐标测量仪器的研究进展165
6.4 微纳坐标测量仪器传感测头的研究进展171
第7章 微视觉测试技术179
7.1 微视觉测试技术基础179
7.2 微结构平面尺寸的视觉测试183
7.3 微结构平面运动参数的视觉测试186
第8章 全息干涉技术209
8.1 全息干涉技术的发展历史209
8.2 全息图的分类209
8.3 传统全息技术的基本原理210
8.4 数字全息技术211
8.5 商业化仪器介绍214
参考文献217