图书介绍
固体薄膜材料与制备技术PDF|Epub|txt|kindle电子书版本下载
- 宁兆元，江美福，辛煜等编著 著
- 出版社： 北京：科学出版社
- ISBN：9787030212061
- 出版时间：2008
- 标注页数：131页
- 文件大小：9MB
- 文件页数：139页
- 主题词：薄膜－工程材料；薄膜技术
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图书目录
第1章 薄膜的特征1
1.1 薄膜的定义1
1.2 表面效应2
1.3 薄膜的结构和缺陷3
第2章 真空技术基础8
2.1 真空的基本概念8
2.2 气体的动力学描述10
2.3 气体的流动与抽气12
2.4 真空的获得15
2.5 真空的测量20
第3章 等离子体技术基础23
3.1 等离子体的基本概念23
3.2 等离子体的分类25
3.3 低温等离子体的产生27
第4章 薄膜的物理气相沉积37
4.1 蒸发沉积37
4.2 溅射沉积47
4.3 离子束沉积54
4.4 脉冲激光沉积56
第5章 化学气相沉积58
5.1 热化学气相沉积58
5.2 等离子体化学气相沉积59
5.3 高密度等离子体化学气相沉积61
5.4 其他化学气相沉积65
第6章 膜厚和沉积速率的测量68
6.1 光学法69
6.2 天平法78
6.3 电学方法81
6.4 表面粗糙度仪法82
第7章 低介电常数薄膜材料84
7.1 低介电常数材料的研究背景84
7.2 碳基低介电常数薄膜87
7.3 硅基低介电常数薄膜90
7.4 SiCOH多孔（超）低介电常数材料的制备与性能94
第8章 氧化锌薄膜材料97
8.1 氧化锌薄膜的特性和用途97
8.2 氧化锌薄膜的制备和光致发光谱98
第9章 钛酸锶钡铁电多层薄膜103
9.1 铁电多层薄膜的研究意义103
9.2 Ba TiO3/Ba0.6Sr0.4TiO3多层薄膜的介电增强效应104
9.3 界面对BaTiO3/SrTiO3多层膜的介电学性质的影响108
9.4 多层膜的铁电性能111
第10章 硅基颗粒复合发光薄膜113
10.1 硅基发光材料研究的意义及历史113
10.2 硅基颗粒复合发光薄膜的制备115
10.3 Si-SiO2和Ge-SiO2薄膜的光致发光和电致发光特性116
参考文献123