图书介绍
超精密气浮定位工作台技术：气浮系统动力学与控制PDF|Epub|txt|kindle电子书版本下载
- 陈学东，何学明，叶燚玺著 著
- 出版社： 武汉：华中科技大学出版社
- ISBN：9787560946108
- 出版时间：2008
- 标注页数：223页
- 文件大小：13MB
- 文件页数：236页
- 主题词：气浮陀螺仪－动力学－研究；气浮陀螺仪－自动控制－研究
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超精密气浮定位工作台技术：气浮系统动力学与控制PDF格式电子书版下载
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图书目录
0绪论1
0.1超精密气浮定位工作台简介1
0.2超精密定位工作台的发展概况2
0.2.1超精密定位工作台的发展过程2
0.2.2国外超精密定位工作台技术的现状4
0.2.3国内超精密定位工作台技术的现状9
0.3超精密定位工作台的关键技术9
0.3.1定位工作台的直线导向技术9
0.3.2定位工作台的控制技术11
0.3.3定位工作台的驱动技术11
0.3.4定位工作台的测量技术13
0.3.5定位工作台的材料14
0.4本书的研究目的和主要内容15
0.4.1本书的研究目的15
0.4.2本书的主要内容16
1永磁同步直线电动机的基本原理及其控制17
1.1永磁同步直线电动机的结构和工作原理18
1.1.1基本结构18
1.1.2工作原理21
1.2直线电动机的建模与分析23
1.2.1永磁同步直线电动机的数学模型23
1.2.2永磁同步直线电动机中的磁场25
1.2.3永磁同步直线电动机的电磁参数28
1.2.4永磁同步直线电动机的d-q轴模型和推力33
1.3交流永磁同步直线电动机的控制36
1.3.1传统控制策略37
1.3.2现代控制策略37
1.3.3智能控制策略39
1.4本章小结40
2气浮轴承模型及有限元分析法41
2.1静压气浮支承润滑系统概述42
2.1.1静压气浮支承润滑系统的组成42
2.1.2静压气浮轴承的节流形式43
2.1.3静压气浮轴承的节流原理44
2.1.4气浮导轨的类型45
2.2气浮轴承润滑问题的描述45
2.2.1小孔流量节流公式45
2.2.2雷诺方程式46
2.2.3气浮轴承润滑问题的变分表示法48
2.3用有限元法解气浮轴承的静压润滑问题49
2.3.1有限元的划分与插值函数49
2.3.2气浮轴承润滑方程的有限元法53
2.3.3有限元的计算过程59
2.4气浮轴承的静压润滑稳定性64
2.4.1影响气浮轴承稳定性的因素64
2.4.2提高气浮轴承稳定性的措施65
2.5本章小结65
3气浮轴承动力学建模与参数辨识66
3.1气浮轴承的主要性能参数66
3.1.1气浮轴承的静态特性及主要参数67
3.1.2气浮轴承的动态特性及主要参数70
3.2气浮轴承性能参数的仿真计算与辨识72
3.2.1气浮轴承性能参数的辨识方法72
3.2.2矩形气浮轴承的特性及主要参数辨识74
3.2.3环形气浮轴承的特性及主要参数辨识83
3.3气浮轴承参数的实验辨识方法93
3.3.1静态测试方法93
3.3.2动态测试方法95
3.4本章小结108
4气浮轴承动力学性能参数分析109
4.1结构形状对性能参数的影响109
4.1.1分析方法109
4.1.2仿真模型109
4.1.3有限元计算结果与分析比较111
4.1.4结构形状与性能参数之间的关系117
4.2结构设计对性能参数的影响118
4.2.1节流孔直径的影响118
4.2.2节流孔高度的影响122
4.2.3压力腔高度的影响126
4.2.4压力腔宽度的影响130
4.2.5压力腔长度的影响132
4.2.6结构设计参数与性能参数之间的关系134
4.3工艺参数对性能参数的影响135
4.3.1气膜厚度的影响135
4.3.2供气压力的影响140
4.3.3工艺参数与性能参数之间的关系144
4.4本章小结145
5超精密气浮定位工作台动力学特性研究146
5.1气浮定位工作台的数学模型147
5.1.1气浮定位工作台的结构147
5.1.2气浮定位工作台的动力学模型148
5.2动力学参数的求解149
5.3动态特性的仿真分析152
5.3.1系统幅值的仿真计算153
5.3.2固有频率的计算153
5.3.3外力对定位工作台动态特性的影响155
5.3.4刚度对定位工作台动态特性的影响156
5.4超精密气浮定位工作台动态参数的实验研究158
5.4.1非气浮状态下的动态特性实验结果与分析159
5.4.2气浮状态下的动态特性实验结果与分析161
5.4.3基座中心至气浮轴承中心的传递函数分析162
5.4.4Y向直线电动机的定子至动子的传递函数分析164
5.4.5频率对刚度参数灵敏度的影响166
5.4.6直线电动机系统多参数灵敏度分析与优化170
5.5本章小结178
6超精密气浮定位工作台定位精度研究180
6.1气浮定位工作台直线运动的数学模型180
6.2混合趋近律的滑模变结构控制模型的建立与仿真182
6.2.1滑动模态及滑模变结构控制的基本概念182
6.2.2滑模变结构控制仿真模型的建立185
6.2.3基于混合趋近律的滑模变结构控制方法185
6.2.4混合趋近律的滑模变结构控制方法的仿真187
6.3定位工作台输出位移的仿真实验与精度分析192
6.3.1输出位移的仿真实验192
6.3.2控制精度的分析198
6.4超精密气浮定位工作台的定位精度实验199
6.4.1实验系统及测量系统199
6.4.2水平直线度的实验结果与分析202
6.4.3垂直直线度的实验结果与分析206
6.4.4非气浮状态下的定位精度实验结果与分析209
6.4.5气浮状态下的定位精度实验结果与分析210
6.5本章小结211
参考文献212