气相沉积薄膜强韧化技术PDF|Epub|txt|kindle电子书版本下载

气相沉积薄膜强韧化技术PDF格式电子书版下载

注意：本站所有压缩包均有解压码： 点击下载压缩包解压工具

第1章 薄膜制备方法1

1.1 基本概念2

1.1.1 薄膜生长过程2

1.1.2 薄膜结构模型3

1.1.3 等离子体5

1.2 物理气相沉积6

1.2.1 蒸发镀膜6

1.2.2 溅射镀膜8

1.2.3 离子镀膜10

1.2.4 离子束辅助气相沉积14

1.3 化学气相沉积15

1.3.1 化学反应原理16

1.3.2 化学气相沉积技术的分类和简介16

1.3.3 化学气相沉积过程及特点21

1.3.4 化学气相沉积技术在工模具上的应用23

1.4 气相沉积技术的应用及进展24

1.5 小结25

第2章 薄膜强化技术26

2.1 薄膜的强化方法27

2.1.1 细晶强化27

2.1.2 强化晶界29

2.1.3 固溶和析出强化32

2.1.4 离子束辅助轰击强化33

2.1.5 多层强化34

2.2 常见硬质薄膜类型36

2.2.1 纳米多层膜36

2.2.2 纳米复合膜47

2.2.3 非晶碳膜60

2.3 小结63

第3章 薄膜韧化技术64

3.1 概念及内涵65

3.1.1 从断裂能角度理解韧化65

3.1.2 断裂韧性（K IC）67

3.1.3 能量释放率（G IC）69

3.2 薄膜的韧化方法70

3.2.1 韧性相韧化72

3.2.2 纳米晶结构设计韧化77

3.2.3 成分和结构梯度韧化79

3.2.4 多层结构韧化81

3.2.5 压应力韧化98

3.2.6 相变韧化98

3.2.7 碳纳米管韧化99

3.3 高韧性薄膜的设计103

3.4 小结104

第4章 薄膜的强韧原理、关键力学指标及其表征107

4.1 强韧化力学原理108

4.1.1 材料强韧化的三个层次108

4.1.2 从微观结构角度理解薄膜的强韧化111

4.2 强韧化关键力学指标122

4.3 强韧化力学指标表征方法及应用134

4.3.1 硬度（H）及弹性模量（E）134

4.3.2 结合强度142

4.3.3 韧性155

4.4 小结188

第5章 薄膜内应力对强韧化的影响189

5.1 气相沉积薄膜的内应力189

5.1.1 内应力概念189

5.1.2 薄膜内应力产生的原因192

5.1.3 薄膜内应力的测试方法196

5.1.4 薄膜内应力的调控203

5.2 内应力对强韧化力学性能的影响212

5.2.1 内应力对硬度的影响212

5.2.2 内应力对结合强度的影响218

5.2.3 内应力对韧性的影响227

5.3 典型薄膜体系的内应力与强韧性能研究235

5.3.1 Ti薄膜的残余应力与力学性能235

5.3.2 Ti/TiN多层薄膜的内应力与力学性能237

5.3.3 Cu/Si薄膜的内应力与力学性能243

5.3.4 SiNx：H薄膜的内应力与断裂韧性246

5.4 小结254

第6章 薄膜强韧化技术实例255

6.1 耐磨损CrN基薄膜的强韧化256

6.1.1 工艺方法对强韧性能的影响257

6.1.2 多层结构提高强韧性能259

6.1.3 合金化提高强韧性能260

6.2 耐冲蚀ZrN基薄膜的强韧化264

6.2.1 工艺方法对强韧性能影响265

6.2.2 多层结构提高强韧性能266

6.2.3 合金化提高强韧性能267

6.3 非晶碳膜强韧化273

6.3.1 典型强韧非晶碳膜的力学性能及影响因素273

6.3.2 合金化实现碳基薄膜的强韧化275

6.3.3 膜层结构设计实现碳基薄膜强韧化277

6.4 小结283

参考文献285