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第1章 绪论1

1.1 精密与超精密加工的产生与特点1

1.2 特种加工的产生与特点3

1.3 精密与特种加工的分类4

1.4 特种加工技术对机械制造工艺的影响9

1.5 精密与特种加工技术的地位与发展趋势10

1.5.1 精密与特种加工技术的地位10

1.5.2 精密与特种加工技术的发展趋势10

思考题11

第2章 精密与超精密切削加工技术12

2.1 概述12

2.2 精密与超精密切削机理14

2.2.1 概述14

2.2.2 切屑的形成14

2.2.3 加工表面的形成15

2.2.4 表面破坏层及应力状态16

2.3 金刚石刀具17

2.3.1 金刚石的结构与性能18

2.3.2 金刚石晶体的定向19

2.3.3 金刚石刀具的设计20

2.4 精密与超精密切削加工的应用21

2.4.1 精密与超精密车削加工21

2.4.2 精密与超精密铣削23

思考题25

第3章 精密与超精密磨料加工技术26

3.1 概述26

3.2 精密与超精密磨削加工27

3.2.1 精密与超精密砂轮磨削加工27

3.2.2 砂带磨削加工33

3.3 精密研磨与抛光加工36

3.3.1 精密研磨与抛光加工机理36

3.3.2 影响精密研磨与抛光的工艺因素37

3.3.3 精密研磨与抛光工具38

3.3.4 研磨抛光新工艺39

3.4 光整加工41

3.4.1 珩磨加工42

3.4.2 超精加工46

思考题49

第4章 热作用特种加工技术50

4.1 电火花加工50

4.1.1 电火花加工的基本原理、分类与应用50

4.1.2 电火花加工机理53

4.1.3 电火花加工机床56

4.1.4 电火花加工工具电极的制备70

4.1.5 电火花加工的基本工艺规律73

4.1.6 电火花加工的典型应用82

4.2 电火花线切割加工90

4.2.1 电火花线切割加工原理、特点及应用范围90

4.2.2 电火花线切割加工设备92

4.2.3 电火花线切割加工控制系统和编程96

4.2.4 电火花线切割加工工艺指标及影响因素102

4.2.5 电火花线切割加工的扩展应用105

4.3 激光加工107

4.3.1 激光加工原理及典型激光器107

4.3.2 激光加工主要应用领域110

4.4 电子束加工118

4.4.1 电子束加工设备与加工机理118

4.4.2 电子束加工主要应用领域120

4.4.3 电子束加工的优点与局限性122

思考题123

第5章 电化学作用特种加工技术125

5.1 概述125

5.1.1 基本原理125

5.1.2 基本概念126

5.1.3 分类与特点130

5.2 电解加工130

5.2.1 电解加工过程及工艺特点131

5.2.2 电解加工设备133

5.2.3 电解加工主要工艺指标及其影响因素139

5.2.4 电解加工主要应用领域143

5.3 电沉积加工151

5.3.1 电铸加工151

5.3.2 涂镀加工154

5.3.3 复合电镀加工156

思考题157

第6章 化学作用特种加工技术158

6.1 化学铣切加工158

6.1.1 化学铣切加工原理、特点及应用范围158

6.1.2 化学铣切加工工艺流程159

6.2 光化学腐蚀加工161

6.2.1 概述161

6.2.2 光化学腐蚀加工原理162

6.2.3 光化学腐蚀加工工艺流程162

6.2.4 光化学腐蚀加工应用举例167

6.3 化学抛光169

6.3.1 化学抛光的机理和特点169

6.3.2 化学抛光的工艺条件及应用170

6.4 化学镀加工172

思考题173

第7章 机械作用特种加工技术174

7.1 超声波加工174

7.1.1 概述174

7.1.2 超声波加工原理175

7.1.3 超声波加工设备177

7.1.4 超声波加工主要工艺指标的影响因素184

7.1.5 超声波加工主要应用领域186

7.2 水射流加工189

7.2.1 概述189

7.2.2 水射流加工设备191

7.2.3 水射流加工工作参数192

7.2.4 水射流加工主要应用领域193

7.3 离子束加工194

7.3.1 离子束加工原理、分类与特点194

7.3.2 离子束加工主要应用领域196

7.4 挤压珩磨加工198

7.4.1 挤压珩磨加工机理199

7.4.2 挤压珩磨加工工艺系统199

7.4.3 挤压珩磨加工主要应用领域201

7.5 磁性磨料研磨加工202

7.5.1 加工机理203

7.5.2 磁性磨料203

7.5.3 磁性磨料研磨装置204

7.5.4 主要应用领域205

思考题206

第8章 复合或组合能量作用特种加工技术207

8.1 概述207

8.2 电化学复合加工207

8.2.1 电解磨削207

8.2.2 电解珩磨214

8.2.3 电解研磨215

8.2.4 电化学机械复合抛光215

8.2.5 超声波辅助电化学加工217

8.2.6 激光辅助电解加工218

8.2.7 电解电火花复合加工218

8.3 热作用复合加工220

8.3.1 磨削放电加工220

8.3.2 超声波辅助电火花加工221

8.4 化学复合加工223

8.4.1 机械-化学复合抛光223

8.4.2 化学-机械复合抛光225

8.5 LIGA和准LIGA技术226

8.5.1 LIGA技术227

8.5.2 准LIGA技术228

思考题230

第9章 增材制造技术231

9.1 概述231

9.2 典型增材制造技术232

9.2.1 光固化成形232

9.2.2 熔融沉积成形233

9.2.3 激光选区烧结成形235

9.2.4 三维立体打印237

9.2.5 材料喷射成形239

9.3 其他增材制造技术240

9.3.1 激光选区熔化成形240

9.3.2 激光近净成形242

9.3.3 电子束熔丝沉积243

9.4 增材制造技术的应用与发展244

思考题245

第10章 微纳米加工技术与微纳机电系统246

10.1 半导体加工工艺246

10.1.1 光刻247

10.1.2 体硅微结构加工技术248

10.1.3 面硅微结构加工技术250

10.1.4 键合技术254

10.2 纳米技术与纳米加工254

10.2.1 扫描探针加工技术255

10.2.2 电子束直写光刻技术255

10.2.3 聚焦离子束技术256

10.2.4 纳米压印技术256

10.3 微纳机电系统258

思考题259

参考文献260