图书介绍
现代PVD表面工程技术及应用PDF|Epub|txt|kindle电子书版本下载
- 张而耕，吴雁编著 著
- 出版社： 北京：科学出版社
- ISBN：9787030377142
- 出版时间：2013
- 标注页数：173页
- 文件大小：79MB
- 文件页数：184页
- 主题词：气相沉积涂层
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图书目录
第1章 PVD涂层的研究进展1
1.1 PVD涂层技术概述6
1.1.1真空涂层技术的发展6
1.1.2 PVD涂层的基本概念及其特点7
1.1.3现代涂层设备8
1.2 PVD涂层技术的研究概述11
1.2.1硬质合金涂层的特点12
1.2.2硬质合金的涂层方法12
1.2.3高温化学气相沉积涂层12
1.2.4物理气相沉积涂层13
1.2.5等离子化学气相沉积涂层13
1.2.6中温化学气相沉积涂层14
1.2.7离子辅助物理气相沉积涂层14
1.2.8涂层硬质合金的种类15
第2章 PVD技术原理19
2.1 PVD涉及的真空基础与概论19
2.1.1真空概念19
2.1.2真空区域的划分19
2.1.3与PVD相关的低温等离子体概述20
2.1.4真空获得与抽气概念21
2.1.5 PVD与水电镀的比较23
2.2蒸镀技术23
2.2.1真空蒸发的原理23
2.2.2真空蒸发的优缺点24
2.2.3真空蒸发镀膜过程24
2.2.4饱和蒸汽压相关理论25
2.2.5蒸发所需热量和蒸发离子的能量28
2.2.6蒸镀的分类30
2.3磁控溅射技术34
2.3.1溅射镀膜原理34
2.3.2直流溅射38
2.3.3直流磁控溅射38
2.3.4射频溅射41
2.3.5脉冲溅射49
2.4阴极电弧技术53
2.4.1真空阴极弧的发展历程53
2.4.2脉冲偏压阴极弧镀膜57
2.4.3阴极电弧制备薄膜的应用59
2.4.4阴极电弧等离子体沉积技术的优点及特性60
2.4.5阴极电弧等离子体沉积技术63
2.5不同涂层技术之间的比较64
第3章 PVD涂层技术工艺65
3.1 PVD涂层的前处理工艺66
3.1.1清洗66
3.1.2去毛刺71
3.1.3喷砂72
3.1.4抛光79
3.2 PVD涂层的制造工艺82
3.3 PVD涂层的后处理工艺84
3.4 PVD涂层的退涂层工艺86
第4章 PVD涂层的结构与性能88
4.1气相沉积技术概述88
4.1.1气相沉积技术及其分类88
4.1.2 PVD和CVD的技术特性比较89
4.1.3 PVD涂层的发展趋势89
4.2 PVD涂层的组织结构91
4.2.1涂层的组织形貌91
4.2.2涂层的晶体结构92
4.3 PVD涂层的物理性能95
4.3.1涂层的硬度95
4.3.2涂层的结合力95
4.3.3涂层的内应力96
4.3.4涂层的抗弯强度96
4.3.5涂层的断裂韧性97
4.3.6涂层的摩擦磨损性能98
4.4 PVD涂层的化学性能99
4.4.1不同涂层试样的氧化动力学分析99
4.4.2不同涂层试样氧化后的组织形貌分析101
第5章 PVD涂层的化学成分控制103
5.1 PVD涂层的靶材选择103
5.1.1靶材的分类和形状103
5.1.2靶材的性能与要求106
5.1.3靶材的制造工艺106
5.1.4靶材的利用率107
5.1.5靶材的选择注意事项110
5.1.6钛铝靶材制造及应用110
5.1.7新靶材应用：铬硅、钛硅、钛铝硅靶111
5.2 PVD涂层的主要设备111
5.2.1 真空蒸发镀膜原理111
5.2.2 PVD电弧离子镀原理112
5.2.3 PVD磁控溅射原理112
5.2.4 PVD镀膜设备组成114
5.3 PVD的微纳米化117
5.3.1纳米涂层的优点117
5.3.2 PVD制备纳米涂层118
5.3.3纳米涂层未来需要解决的问题119
第6章 PVD涂层的质量控制120
6.1 PVD涂层的外观检验120
6.1.1剥落120
6.1.2色差120
6.2涂层厚度与检测121
6.2.1涂层厚度的定义121
6.2.2 PVD涂层的厚度检验121
6.3 PVD涂层的结合力检验124
6.3.1划痕测试法125
6.3.2压痕测试法125
6.3.3球痕测试法128
6.4 PVD涂层的硬度检验128
6.4.1维氏硬度128
6.4.2努氏硬度129
6.4.3维氏硬度与努氏硬度比较130
6.5 PVD涂层的内应力与测量131
6.5.1应力简介131
6.5.2应力测试方法131
6.6 PVD涂层的微观特性评价与检测132
6.6.1涂层成分133
6.6.2晶体结构133
6.6.3组织形貌134
6.7涂层的耐磨性测试135
6.8涂层的耐蚀性测试136
6.9涂层的热耐疲劳测试138
第7章 PVD涂层在现代工业上的应用139
7.1 PVD涂层在冲压/成型模具上的应用141
7.1.1冲压模具142
7.1.2成型模具143
7.1.3案例144
7.2 PVD涂层在铝合金压铸模具上的应用144
7.2.1铝合金压铸模的失效模式及分析144
7.2.2铝合金压铸模具表面PVD涂层处理147
7.2.3案例148
7.3 PVD涂层在注塑模具上的应用148
7.3.1注塑模具遇到的问题148
7.3.2注塑模具的分类处理150
7.3.3注塑模具应该具备的性能151
7.3.4案例152
7.4 PVD涂层在现代切削刀具上的应用153
7.4.1现代金属切削对刀具的要求153
7.4.2刀具硬质涂层新材料155
7.4.3提高涂层刀具使用效果的方法159
7.4.4案例160
7.5 PVD涂层在摩擦磨损件上的应用160
7.5.1 机械零部件的摩擦和磨损160
7.5.2类金刚石涂层在机械零部件上的应用163
7.6 PVD涂层应用展望167
参考文献168