图书介绍
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- 著
- 出版社: 电子工业部第十设计研究院
- ISBN:
- 出版时间:1994
- 标注页数:380页
- 文件大小:25MB
- 文件页数:385页
- 主题词:
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图书目录
目 录1
微电子工业污染控制技术的进展1
洁净室悬浮粒子浓度的测定方法和洁净室空气洁净度的评价方法8
——日本工业标准 B99208
洁净室的升级改造41
优秀洁净室设计实践的若干问题46
采用人工进入微环境的方法提高100级洁净厂房的级别51
制定受控环境中生物污染的监测和行动计划55
高性能、低能耗的洁净室设计——一个实例的研究59
晶片传输与洁净室气流控制66
制药和生物工程洁净室预算编制89
推动洁净室市场的制药工业96
洁净室建筑部件示准及惯例98
温超纯水制造装置和清洗排水回收实例104
关于洁净室产生钠离子的见解109
应用隔离技术进行亚微米设施设计和运行116
采用高精度优化空气过滤器滤芯降低能源费用122
评价洁净工作服方法的综述131
洁净室自动化系统138
在100级生产设施中采用SMIF以减少缺陷密度144
晶片表面有机磷污染与高效过滤器安装的关系149
提高产品成品率的超净技术152
利用UV/光电子法的带电·捕集进行密闭空间的超净化157
探索零缺陷与零发尘目标的共同点163
日水工业规格—生物学用Ⅱ级安全柜166
洁净室用洁净服的新发展190
洁净室和洁净空气控制空间分级及环境洁净度有关性能要求197
污染最优控制的洁净室设计207
日本工业标准—关于制定洁净室空气过滤器性能试验方法草案的说明213
能效设计的实际结果231
欧洲制药的洁净标准与建议做法237
建筑和防火法规对洁净室设计和安全性的影响244
日水工业标准—空气浮游菌测量仪的捕集性能试验方法252
利用X射线感应粒子放射法(PIXE法)评价洁净室环境263
洁净室的测试与认证:关于应用标准与推荐导则的状况报告274
防止高效过滤器硼污染的措施277
世界先进生产水平的微环境系统284
采用完善的洁净室维护管理保护高技术投资290
在已有设施中建造新的洁净生产区295
ASIC生产设施中对污染控制的实践300
洁净室气溶胶物理特性的基本概念305
传统洁净室与微环境洁净室粒子污染比较311
美国航空航天局(NASA)大型洁净室的设计318
洁净室系统初效过滤器的过滤特性325
洁净室防静电措施指南332