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第一章高纯气体纯度与电子器件质量的关系1

§1-1氧气纯度对氧化工艺的影响1

目 录1

§1-2表面钝化工艺对气体纯度的要求3

§1-3高纯气体纯度对外延质量的影响4

§1-4氨的纯度对器件可靠性的影响6

§2-1氧8

2-1-1氧的物理性质8

第二章 器件生产常用气体的物理性质与化学性质8

2-1-2氧的化学性质10

2-1-3氧的其它性质10

§2-2氢11

2-2-1 氢的物理性质11

2-2-2氢的化学性质12

2-2-3 氢的用途13

2-2-4氢气的安全技术14

2-3-1 氮气的物理化学性质16

§2-3氮16

2-3-2 氮的用途18

§2-4氨18

2-4-1 氨的性质18

2-4-2氨的氧化反应19

2-4-3氨气的安全技术19

§2-5二氧化碳19

§2-6硅烷气、四氯化硅和三氯氢硅20

2-6-1硅烷气20

2-6-2四氯化硅和三氯氢硅22

§2-7氩气、氦气与氖气24

2-7-1稀有气体的基本性质24

2-7-2稀有气体的用途25

第三章高纯气制备的几种方法27

§3-1低温精馏法27

§3-2吸附干燥法27

§3-4金属吸气剂法29

§3-5钯膜分离技术29

§3-3催化纯化法29

第四章吸附与干燥32

§4-1固体表面的吸附现象32

§4-2固体的表面与孔33

§4-3吸附量与哪些因素有关34

§4-4吸附剂与干燥剂的种类35

§4-5分子筛概述36

4-6-2人工合成沸石39

4-6-1天然沸石39

§4-6沸石分子筛的种类与性质39

§4-7几种主要沸石的结构41

4-7-1 A型沸石41

4-7-2 X型和Y型沸石43

4-7-3 丝光沸石44

§4-8沸石的物理性质与化学性质44

4-8-1沸石的物理性质44

4-8-2沸石的离子交换性质48

4-8-3沸石的吸附性质54

4-8-4沸石的吸水性58

4-8-5吸附量、吸附曲线与吸附热67

§4-9 硅胶79

§4-10活性炭80

4-1 0-1活性炭的性质80

4-1 0-2活性炭的种类与用途83

4-10-3活性炭的吸附性质85

4-1 0-4活性炭的再生88

5-1-1催化反应脱氧89

§5-1催化反应脱氧和化学吸收脱氧89

第五章常用脱氧剂的种类与性质89

5-1-2化学吸收脱氧91

5-1-3脱氧剂去H 292

§5-2催化剂的一些特性92

5-2-1活性93

5-2-2选择性95

5-2-3机械强度95

5-2-4耐热及抗毒稳定性96

5-2-5催化剂的使用时限98

5-3-1 BH型脱氧催化剂的物理性能99

§5-3 BH型（暂定）脱氧催化剂99

5-3-2 BH型脱氧催化剂的脱氧机理100

5-3-3 BH型脱氧催化剂的用途100

5-3-4 BH型脱氧催化剂的显著特点100

5-3-5推荐的脱氧流程101

5-3-6 BH型脱氧催化剂的活化、再生101

§5-4 105催化剂102

§5-5钯石棉104

5-6-1 AgX型催化剂脱氧机理105

§5-6 201银X催化剂105

5-6-2使用流程及装置106

5-6-3活化107

5-6-4 还原109

5-6-5 201AgX催化剂对脱氧纯化条件的选择112

5-6-6脱氧温度的影响112

5-6-7脱氧与空速的影响114

5-6-8 还原再生与灼烧活化115

5-6-9银交换度对脱氧的影响115

5-7-2碳纤维的性质117

§5-7碳纤维脱氧催化剂117

5-7-1 原理118

5-7-3活化与再生118

§5-8活性氧化铝镀钯催化剂119

§5-9 401锰型脱氧催化剂120

5-9-1概述120

5-9-2性质122

5-9-3活化、再生及其它126

§5-10 0603活性铜128

§5-11催化脱氧剂的选择使用129

第六章国内外气体纯化设备结构简介134

§6-1气质要求与设备结构的关系134

§6-2纯氢设备137

6-2-1 催化除氧和吸附干燥的纯氢方法137

6-2-2钯膜纯氢器142

6-2-3变压吸附法143

§6-3纯氮设备148

§6-4纯氧设备160

§6-5纯氩工艺167

第七章高纯气体的输送169

§7-1概述169

§7-2 输送系统的质量与高纯气体纯度的关系170

§7-3输气系统的总和及评价174

7-3-1 什么叫做符合质量要求的钢瓶176

7-3-2纯化设备的进气方式177

7-3-3集中纯化设备181

7-3-4管道材质的选择原则207

7-3-5管径的计算208

7-3-6气体管道的合理布局与施工221

7-3-7分气包226

7-3-8 管道及附件的清洗与处理230

7-3-11集中纯化站与使用点的信号联系234

7-3-10气体管道与钢瓶的颜色标志262

7-3-9 炉前气路装置——炉前气体终端纯化器与炉前气路装置及配管266

§7-4关于液态气体输送的若干技术问题267

7-4-1气体输送的三种方式267

7-4-2 高纯气本采用液态输送的优点分析269

7-4-3液体输送的几种形式和设备271

第八章高纯气体参数的测试273

§8-1气体的湿度及其测量方法273

8 1-1气体湿度的表示方法274

8-1-2湿度测定的几种仪器274

§8-2气体中含氧及其测量方法284

8-2-1 热化学式氧分析仪器284

8-2-2磁性氧分析仪器284

8-2-3 氧化锆氧分析仪器285

8-2-4黄磷发光法286

8-2-5 电化学式氧分析仪器287

§8-3气相色谱仪294

第九章世界主要国家气质状况介绍303

第十章提高气质的途径312

§10-1采用新的纯化原理与先进的设备312

§10-2利用钢瓶势能，增加系统压力来提高气质313

§10-3研制与选用合适的材料317

§10-4研制先进的纯化设备与流程317

第十一章高纯气体的管理318